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EGE常用型号有：液体流量计SKZ400WR，SC440-A4-GSP，SC440/2-A4-GSP，SKM420GR，STA421S-B3，SN450-A4-WR1；空气流量计LNZ450WR1-K等；特殊型号有SN10383，SN10628等。料位控制器无可移动部件，种类多且耐脏。电容式液位控制器可用于液态气比较低-200℃及热胶比较高+230℃的各类温度范围产品。由于PTFE和PEEK的抗粘特性而成为优先的传感器外壳材料。玻璃或PSU前列的光电液位传感器无需中间调节，只需简单地固定在罐顶。传感器可选通过ATEX认证的防爆系列、超声波料位、压力料位控制器或连续监视和记录填充料位的耐高温KFA探头电容式控制器。电感式接近开关用于金属物体检测。

美国MKS控制器产品特征①分配和控制流向两个腔室或区域的工艺气体②用于在运行期间监控设备的嵌入式以太网③模拟、EtherCAT®或DeviceNet?通信④更宽的动态控制范围，可实现低至5%满量程流量的比率控制⑤获得**的控制算法可实现更快的响应比设定点⑥使用标准网络浏览器-无需特殊软件3、美国MKS控制器产品优势DELTAII具有更宽的动态比率控制范围，更能适应不同的刀具和工艺条件。MKS开发了一种独特的正在申请专利的比率控制算法，使比率和流量响应时间小于两(2)秒。这种控制算法还支持20比1的比率控制范围，是其行业**前身的两倍多。DELTAII的诊断功能允许用户在现场检查DELTA的性能，通过减少“未发现问题”设备的移除来降低成本。此功能通过通过设备的以太网端口访问的Web浏览器实用程序启用。该实用程序使用标准的网络浏览器——不需要特殊软件。访问时，可通过设备高亮LED显示屏访问IP地址。气体质量流量控制器MC-5SLPM-D-X/TOT/GAS:AIR 小岛KOFLOC液体质量流量控制器 DF200C(10sccm-10slpm) 代理商。

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SPORLAN流量控制器GP200系列GP200系列是一款完全压力不敏感的基于压力的质量流量控制器，专为半导体制造中的先进蚀刻和沉积工艺而设计。即使在输送低蒸气压工艺气体时也能提供准确的工艺气体输送。降低了气体输送系统的复杂性和拥有成本，因为它消除了对压力调节器和传感器等组件的需求。性能特点较低的入口压力操作下游阀结构匹配的瞬态响应零泄漏控制阀本地显示指示流量、温度、压力和网络地址通过消除匹配和补偿两个**压力传感器的要求，GP200差压技术降低了测量不确定性，从而提高了精度、可重复性和漂移性能。由于GP200差压传感器专门针对低压差测量进行了优化，现在使用P-MFC可以在较低的入口压力下实现更安全的工厂操作。下游阀门结构确保精度**于下游压力，使流量能够在高达1200Torr的压力下输送。快速关闭阀解决了非生产性配方等待时间或“尾部效应”，这在上游MFC阀门设计中可见，需要额外的时间来排出其内部气体体积。快、高度可重复的上升和下降流动稳定时间可在先进的高循环沉积和蚀刻工艺中实现更严格的工艺控制苏州流量控制器厂家直供

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